一、产品概述
颐光科技椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台，通过整体高度模块化，电、气路集成技术，实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。
二、特色功能
- 支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术；
- 支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告；
- 支持多椭偏方案，多组合集成
- 支持测头模块以及样件机台定制化
三、应用场景
应用于科学研究中各种各向同性，异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征；工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜（配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜）全片离线化快速扫描测量。
参考设计方案
高度整合椭偏技术方案
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集成椭偏仪规格：
- 电话：13585639202 高先生
- 邮箱：sales@vuoptics.com.cn
- 地址：上海市嘉定区平城路1055号802室