高分辨率膜厚测量近红外光谱仪SS9214
SS9214具备良好的温度稳定性，在0~40℃温度范围内波长偏移不超过2个像素。采用N.A.0.22高通量的光路以及高衍射效率透射光栅，相对于同类型产品，该产品具备更好的灵敏度和一致性，采用固定透射式光栅和512线阵InGaAs..
SS9214具备良好的温度稳定性，在0~40℃温度范围内波长偏移不超过2个像素。采用N.A.0.22高通量的光路以及高衍射效率透射光栅， 相对于同类型产品， 该产品具备更好的灵敏度和一致性，采用固定透射式光栅和512线阵InGaAs阵列检测器单元实现实时快速近红外光谱采集。
特点列表
- 光谱范围1525-1650nm
- 透射光栅，高灵敏、高分辨
- 深制冷、稳定可靠
- 用于厚度测量
规格说明
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SS9214近红外光纤光谱仪 |
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| 项目 | 值 |
| 尺寸 | 162×110×61mm |
| 光谱范围 | 1530~1570nm |
| 光谱分辨率 | ~0.35nm@25um狭缝 |
| 动态范围 | 8000:1（typical）13000:1(Max) |
| 暗噪声 | 10RMS@100ms |
| 检测器规格 | Hamamatsu G9214-512 |
| 检测器像素数 | 512*1 |
| 光纤接口 | SMA905 |
| 通讯接口 | Micro-USB 或 TTL |
| 检测器制冷 | 一级制冷 |
| 供电 | 5V/4A |
| 工作温度 | 0-40℃ |
| 工作湿度 | 5%-85% |
其他信息
应用领域
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近红外激光测量
-
薄膜厚度测量
薄膜厚度测量与光谱仪需求
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厚度范围 |
需要光谱仪范围 |
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20nm-70um |
380-1050nm |
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100nm-250um |
950-1700nm |
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0.2um-450um |
1440-1690nm |
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7um-2mm |
1280-1340nm |
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10um-3mm |
1525-1575nm |
典型光谱图
氩灯光谱图
暗光谱
钨灯光谱（积分时间：1ms）
有源信噪比（积分时间：3ms）
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